Title:
可撓性基板上のＭＥＭＳデバイス
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017524542
Kind Code:
A
Abstract:
１つ以上のＭＥＭＳ素子を含む可撓性フィルム及びその可撓性フィルムを含む物品が説明される。本可撓性フィルムは、２つの金属層間にポリマー層を含み、これらの金属層のうちの一方は穿孔を含む。このポリマー層は、これらの２つの金属層の相対運動を可能にするボイド領域を含む。【選択図】図２
Inventors:
Bergeron, Philip Jay.
Ransford, Brent Dee.
Geisinger, John Dee.
Gundel, Douglas Bee.
Mooney, Justin A.
Paraniswamy, Ravi
Fu, Shan Shin
Ransford, Brent Dee.
Geisinger, John Dee.
Gundel, Douglas Bee.
Mooney, Justin A.
Paraniswamy, Ravi
Fu, Shan Shin
Application Number:
JP2016569050A
Publication Date:
August 31, 2017
Filing Date:
May 11, 2015
Export Citation:
Assignee:
3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY
International Classes:
B81B7/02; B81B3/00; G01P15/00; G01P15/08
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiki Hasegawa
Ikeda adult
Yoshinori Shimizu
Junichiro Sakamaki
Hidehiko Suzuki
Ikeda adult
Yoshinori Shimizu
Junichiro Sakamaki
Hidehiko Suzuki