Title:
磁石アセンブリ、コイルアセンブリ、平面モータ、位置決めデバイス及びリソグラフィ装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023526837
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、平面電磁モータのための磁石アセンブリであって、－ 外周の内側にあり、及び矩形パターンなどの平面パターンで配置された第１の複数の超伝導（ＳＣ）コイル、－ 平面パターンの外側境界に沿って配置された第２の複数のＳＣコイルであって、第１の複数のＳＣコイルのうちのコイルは、第１の面内形状を有し、及び第２の複数のＳＣコイルのうちのコイルは、第１の面内形状と異なる第２の面内形状を有し、第２の複数のＳＣコイルは、外周の内側に少なくとも部分的に配置される、第２の複数のＳＣコイルを含む磁石アセンブリを提供する。【選択図】 図６ａ
Inventors:
De Gelsem, Gudrun, Ghyslaine, Agnes
Hameling, Roger, Franciscus, Matthaus, Maria
Van Daivenboard, Jeroen
Hameling, Roger, Franciscus, Matthaus, Maria
Van Daivenboard, Jeroen
Application Number:
JP2022570459A
Publication Date:
June 23, 2023
Filing Date:
April 18, 2021
Export Citation:
Assignee:
ASM L Netherlands B.V.
International Classes:
G03F7/20; H02K41/03; H02K55/02
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito