Title:
ナノインプラント又はロールツーロールを用いた電子構造とアンテナ結合テラヘルツフィルムの製造方式・方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022520988
Kind Code:
A
Abstract:
アンテナ結合テラヘルツ（ACT）フィルムには複数のレクテナがあり、それぞれにはアンテナとダイオードが付いている。ACTフィルムはナノインプリントリソグラフィ工程とロールツーロール工程を用いて製造されている。インプリント用テンプレートは、1つ又は複数の酸化物層で分離された2つの金属層を有するフィードストック上に重なっている。下部金属層を曝露するため、フィードストックがエッチングされる。レクテナ内でのダイオードへの短絡を回避するため、下部金属層の一部が切り落とされ下部金属層内に不連続部分が生み出される。メタマテリアルフィルムも作製される。ACTフィルムの製造を完了するため、レクテナフィルムとメタマテリアルフィルムの位置合わせを行い、レクテナフィルム内のレクテナがメタマテリアルフィルム内のメタマテリアルにある穴の上に配置されるようにする。整列したら、レクテナフィルムとメタマテリアルフィルムは接合される。【選択図】 図１４
Inventors:
Bloody, Patrick, Kay
Peltz, Bradley
Tucker, The Curry
Perlov, Craig
Peltz, Bradley
Tucker, The Curry
Perlov, Craig
Application Number:
JP2021548703A
Publication Date:
April 04, 2022
Filing Date:
February 20, 2020
Export Citation:
Assignee:
REDWAVE ENERGY, INC.
International Classes:
H01P11/00; H01P1/00
Attorney, Agent or Firm:
Inoue Mitsuru
Satoshi Nazuka
Satoshi Nazuka