Title:
光計測装置、光スペクトルフィルタ及び光スペクトルフィルタの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017158808
Kind Code:
A1
Abstract:
ＣＡＲＳ計測手法のうちストークス光のスペクトル制御を行う手法では、グレーティングと空間フィルタによりスペクトル制御部を構成するため、スペクトル制御部が大型となるほか精密な光学調整が必要となるなどの課題があった。そこで、本願では、所定の周期構造をもつ導波路型の波長フィルタを使用することで、小型な装置で簡易にスペクトル形状の制御を行うことを可能とした。尚、波長フィルタの形成に当たっては制御自由度の高いフェムト秒レーザによる加工を用いることとした。
Inventors:
Ryo Imai
Hiroyuki Minemura
Koichi Watanabe
Hiroyuki Minemura
Koichi Watanabe
Application Number:
JP2018505177A
Publication Date:
July 26, 2018
Filing Date:
March 18, 2016
Export Citation:
Assignee:
株式会社日立製作所
International Classes:
G01J3/44; G01N21/65; G02F1/377
Domestic Patent References:
| JP2015536467A | 2015-12-21 | |||
| JP2004258411A | 2004-09-16 | |||
| JP2007178258A | 2007-07-12 | |||
| JP2007025603A | 2007-02-01 | |||
| JP2003322736A | 2003-11-14 | |||
| JPH10311918A | 1998-11-24 |
Other References:
JEAN REHBINDER, ET AL.: "Multiplex coherent anti-Stokes Raman microspectroscopy with tailored Stokes spectrum", OPTICS LETTERS, vol. 35, no. 22, JPN6016019125, 2010, pages 3721 - 3723, XP001559085, DOI: doi:10.1364/OL.35.003721
Attorney, Agent or Firm:
Fujio Patent Office