Title:
研磨用組成物の製造方法および研磨方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018012175
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、研磨対象物を高い研磨速度でかつ少ないスクラッチ（欠陥）で研磨できる研磨用組成物の製造方法を提供する。本発明は、ラマン分光法により分析した際にシリカ四員環構造に由来するピークの強度とシリカランダムネットワーク構造に由来するピークの強度とが所定の要件を満たすシリカを準備し、前記シリカを分散媒と混合することを有する、研磨用組成物の製造方法である。
Inventors:
Izawa Yoshihiro
Shota Suzuki
Shota Suzuki
Application Number:
JP2018527456A
Publication Date:
May 30, 2019
Filing Date:
June 12, 2017
Export Citation:
Assignee:
Fujimi Incorporated Co., Ltd.
International Classes:
C09K3/14; B24B37/00; C09G1/02; H01L21/304
Domestic Patent References:
| JP2007153732A | 2007-06-21 |
Foreign References:
| WO2011162265A1 | 2011-12-29 | |||
| WO2011021599A1 | 2011-02-24 |
Attorney, Agent or Firm:
Hatta International Patent Corporation