Title:
マーカユニット
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018193806
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、例えば、同じ対象物に対して、同じ条件で容易に設置することが可能なマーカユニットを提供する。本発明のマーカユニットは、上基板と、下基板とを含み、前記下基板の上に、前記上基板が積層された積層体であり、前記下基板は、その上面に、前記積層体の上面側に露出した下基板被検出部を有し、その下面に、位置決定部を有し、前記被検出部は、前記積層体の上面側から検出可能であり、前記位置決定部は、マーカユニットが設置される被設置体における前記マーカユニットが設置される被設置部に対して、位置を決定する形状であることを特徴とする。
Inventors:
Saito Kyokei
Fukuda Yasuyuki
Fukuda Yasuyuki
Application Number:
JP2019513531A
Publication Date:
February 06, 2020
Filing Date:
March 29, 2018
Export Citation:
Assignee:
Enplus Inc.
International Classes:
G01B11/26; G01B11/00
Domestic Patent References:
| JP2001267202A | 2001-09-28 | |||
| JPH05312521A | 1993-11-22 | |||
| JP2004296510A | 2004-10-21 | |||
| JP2000011211A | 2000-01-14 |
Foreign References:
| WO2016024555A1 | 2016-02-18 | |||
| US20160313115A1 | 2016-10-27 |
Attorney, Agent or Firm:
Koichiro Tsujimaru
Yumi Nakayama
Isaji So
Kento Minamino
Yumi Nakayama
Isaji So
Kento Minamino