Title:
Measuring device
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6246875
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】計測精度の向上を図ると共に、計測効率の向上を図ることのできる計測装置を提供する。【解決手段】計測装置１は、撮像系４Ａ，４Ｂにより撮像し得られた干渉縞画像を基に、ワークＷの所定の計測領域内に予め設定した一部のｚ位置調査領域について、ｚ方向複数位置における複素振幅データを取得する。続いて、該複数通りの複素振幅データからｚ位置調査領域に係る複数通りの強度画像を取得し、該複数通りの強度画像を基にｚ位置調査領域のｚ方向における位置を決定する。そして、この位置における複素振幅データを計測領域全体について取得して、計測領域に係る三次元計測を実行する。【選択図】 図１
Inventors:
Hiroyuki Ishigaki
Takahiro Mamiya
Takahiro Mamiya
Application Number:
JP2016163220A
Publication Date:
December 13, 2017
Filing Date:
August 24, 2016
Export Citation:
Assignee:
CKD Corporation
International Classes:
G01B11/24; G01B9/02
Domestic Patent References:
| JP2005024432A | 2005-01-27 | |||
| JP2003232619A | 2003-08-22 | |||
| JP2010025663A | 2010-02-04 |
Foreign References:
| US20080137933A1 | 2008-06-12 |
Attorney, Agent or Firm:
Mitsuo Kawaguchi
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