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Patent Searching and Data


Title:
MEMS ELEMENT AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019042872
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】組立工程やマウント工程で急熱、急冷を受けた場合でも歪むことなく、構造的に強く、安定した特性を得ることができるようにする。【解決手段】例えば、ハンドル基板11の上面側に外段差11d(Da)が形成され、この外段差11dに嵌合する形で、可動電極13と固定電極15がエアーギャップ7を介して支持層14により支持された構造体が形成され、段差部Daでハンドル基板11と構造体が嵌まり込むメサ型とすることにより、全体の構造的な強度を高めることができる。更に、構造強化のために、固定電極15の外側の保護膜16と同じ材料である窒化膜19をハンドル基板11の裏面に設ける。【選択図】図1

Inventors:
ARAKI SHINICHI
Application Number:
JP2017169039A
Publication Date:
March 22, 2019
Filing Date:
September 02, 2017
Export Citation:
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Assignee:
NEW JAPAN RADIO CO LTD
International Classes:
B81B3/00; B81C1/00; H01L29/84; H04R19/04; H04R31/00
Attorney, Agent or Firm:
緒方 保人