Title:
（メタ）アクリレート化合物、（メタ）アクリル共重合体およびそれを含む感光性樹脂組成物
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2015115613
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、化学増幅型レジストとしての解像度、ラインエッジラフネス（ＬＥＲ）等の基本物性を損なわずに、高感度でバランスの良いレジストおよびレジスト用化合物を提供する。本発明は、一般式（１）で表される（メタ）アクリレート化合物、およびその製造方法、一般式（１）の（メタ）アクリレート化合物を重合して得られる（メタ）アクリル共重合体とその感光性樹脂組成物である。【化１】（式中、Ｒ１は、水素原子、または、メチル基を表し、Ｒ２は炭素数２〜４の直鎖、または分岐状のアルキル基、Ｒ３は、同一または異なっていても良い下記式（２）又は（３）等で表わされる基を示す。）【化２】（式（２）および（３）については、本願明細書中に記載されている通りである。）【化３】
Inventors:
Hiroyasu Tanaka
Shoichi Hayakawa
Hiroyuki Tanaki
Kikuo Furukawa
Hiroshi Horikoshi
Shoichi Hayakawa
Hiroyuki Tanaki
Kikuo Furukawa
Hiroshi Horikoshi
Application Number:
JP2015560048A
Publication Date:
March 23, 2017
Filing Date:
January 30, 2015
Export Citation:
Assignee:
Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.
International Classes:
C07C69/75; C07C67/12; C07C67/30; C07D307/00; C07D307/33; C08F22/20; G03F7/039
Domestic Patent References:
| JP2005154304A | 2005-06-16 | |||
| JP2010039142A | 2010-02-18 | |||
| JP2006243474A | 2006-09-14 | |||
| JP2004323704A | 2004-11-18 |
Attorney, Agent or Firm:
Hiroshi Kobayashi
Kyoei Sugiyama
Taro Ushio
Yasuhito Suzuki
Kyoei Sugiyama
Taro Ushio
Yasuhito Suzuki