Title:
メタルマスク
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3236293
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】溶射によりワークの表面に被膜を形成する際に、簡便にマスキングを行うことができ、ワークに堆積された被膜にダメージを与えないメタルマスクを提供する。【解決手段】メタルマスク１００は、ワークの表面に接する第１面Ｓ１１と第１面の反対側の第２面Ｓ１２と第１面と前記第２面との間の第３面Ｓ１３とを有する本体部１０２と、本体部から連続し、第１面より外側に突出する庇部１０４とを有し、庇部がワークの表面から離れて配置されている。メタルマスクの本体部に係る第３面（側面）は、庇部を形成するように設けられた段差部１０６を有している。また、本体部に係る第３面（側面）は、第１面側から第２面側に向けて広がる傾斜面を有し、庇部が傾斜面の上方に配置される構造を有していてもよい。【選択図】図１
Inventors:
Hibiki Yokoyama
Atsushi Niguchiya
Noriyoshi Kaneda
Tsusuke Sone
Rikei Fujii
Takatoshi Nanbu
Atsushi Niguchiya
Noriyoshi Kaneda
Tsusuke Sone
Rikei Fujii
Takatoshi Nanbu
Application Number:
JP2021004723U
Publication Date:
February 09, 2022
Filing Date:
December 10, 2021
Export Citation:
Assignee:
Nippon Jojo Co., Ltd.
International Classes:
C23C4/02; H01L21/683
Attorney, Agent or Firm:
Takahashi Hayashi & Partners