Title:
ポンプ制御パラメーターの調整方法、コンピュータープログラム、記録媒体、吐出装置および塗布装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024034617
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】ポンプからノズルへ処理液を送出するためのポンプ制御パラメーターを、実際の吐出動作において目標通りの特性が得られるように最適化する。【解決手段】本発明に係るポンプ制御パラメーターの調整方法は、制御パラメーターを仮設定してポンプから処理液を送出して吐出圧力プロファイルを取得し、取得された吐出圧力プロファイルが予め定められた目標プロファイルに近づくように、制御パラメーターを調整する調整工程と、調整された制御パラメーターに基づき吐出動作を実行し、吐出圧力プロファイルを取得する工程と、調整工程で取得される吐出圧力プロファイルと吐出動作において取得される吐出圧力プロファイルとの差分に応じたオフセット量を設定する設定工程と、取得される吐出圧力プロファイルにオフセット量を加算したプロファイルが目標プロファイルに近づくように制御パラメーターを再調整する再調整工程とを備える。【選択図】図２１
Inventors:
Satoshi Okamoto
Takaya Kimura
Yuji Anda
Takaya Kimura
Yuji Anda
Application Number:
JP2022138994A
Publication Date:
March 13, 2024
Filing Date:
September 01, 2022
Export Citation:
Assignee:
Screen Holdings Co., Ltd.
International Classes:
B05C11/10; B05C5/02; F04B49/08
Attorney, Agent or Firm:
Shoichi Swing
Kazumasa Ohnishi
Kazumasa Ohnishi