Title:
非静止物体を撮像するための方法及び装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023552964
Kind Code:
A
Abstract:
物体のエリアが照明ビームによって照明されるように、物体を支持するように構成されたステージモジュールと、少なくとも１つの信号ビームを収集するように構成された対物レンズであって、少なくとも１つの信号ビームが、物体の照明エリアから生じる、対物レンズと、対物レンズによって収集された少なくとも１つの信号ビームによって形成された像を捕捉するように構成された撮像センサと、像取得の間の対物レンズに対するステージモジュールの相対運動を補償するように動作可能な運動補償機構とを含む、光学撮像システム及び関連方法が開示される。運動補償機構は、上記対物レンズ又はその少なくとも１つの光学素子、上記撮像センサ、及び／又は、光学撮像システムの検出分岐及び／又は照明分岐内に含まれる光学素子のうちの１つ又は複数の補償運動を引き起こす。【選択図】図８
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Inventors:
Vershuelen, Cohen, Adrienne
Zeip, ferry
Sunday, Nitesh
Konijenberg, Alexander Prasetya
Zeip, ferry
Sunday, Nitesh
Konijenberg, Alexander Prasetya
Application Number:
JP2023527794A
Publication Date:
December 20, 2023
Filing Date:
November 16, 2021
Export Citation:
Assignee:
ASM L Netherlands B.V.
International Classes:
G03F7/20; G01N21/956; G02B27/64
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito