Title:
放射率補正されたパイロメトリのための方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023546348
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、第１部分の層及び第１部分の層上に堆積される第２部分の層を具備する多層構造を備える基板をコーティングするための装置及び方法に関する。第２部分の少なくとも１つの層の堆積中に、少なくとも１つの光学測定装置が基板の広域面における放射率及び反射率を測定し、その広域面は層を構成する。予め決定された補正値を用いて、基板の広域面の温度の実際の値が計算され、そしてその実際の値を用いて加熱装置が基板の広域面の温度の目標値に対して基板の温度を制御するために制御される。第２部分の堆積直前に行われる第１部分の堆積中に、補正値が決定されることが重要である。
Inventors:
Rozek, Karsten
heidhausen, dark
heidhausen, dark
Application Number:
JP2023520371A
Publication Date:
November 02, 2023
Filing Date:
October 05, 2021
Export Citation:
Assignee:
Ixtron, S.E.
International Classes:
G01J5/00; C23C16/52; G01J5/80; H01L21/205
Attorney, Agent or Firm:
Takashiro Kojima
Noriko Kawai
Yuta Kojima
Noriko Kawai
Yuta Kojima