Title:
ウエハ内に複数の共振器を製造する方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022547618
Kind Code:
A
Abstract:
時計用の調節部材を装備することを意図している複数の機械式共振器（１００）を製造用ウエハ内に製造する方法は、(a）基準仕様に従って少なくとも1つの基準ウエハに複数の共振器を製造する工程であって、前記基準ウエハ上又は該基準ウエハの上方に前記共振器のパターンを形成するための少なくとも1つのリソグラフィ工程、及び前記パターンを介して前記基準ウエハに機械加工する工程を含む工程と、（b）前記少なくとも1つの基準ウエハについて、平均剛性値に対する前記共振器の剛性の分散を示すマップを生成する工程と、(c）前記マップをフィールドに分割し、前記分散を低減するために前記フィールドの少なくとも1つについて前記共振器の寸法になされるべき補正を決定する工程と、（d）前記リソグラフィ工程の前記基準仕様を修正して前記リソグラフィ工程中に前記少なくとも1つのフィールドについて前記寸法に対する補正を行う工程と、（e）前記の修正した仕様を用いて製造用ウエハ上に共振器を生産する工程、を有する。【選択図】図４
Inventors:
Susana del Carmen Tovenas Borlon
Alexis Heraud
Luca Rivet
Beatrice Wenk
nelly socket
Alexis Heraud
Luca Rivet
Beatrice Wenk
nelly socket
Application Number:
JP2022516464A
Publication Date:
November 14, 2022
Filing Date:
September 15, 2020
Export Citation:
Assignee:
Richemont Internacional Society Anonym
International Classes:
G04B17/06; B81C1/00; F16F1/02; F16F1/10; F16F15/02
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Sugimura
Mitsutsugu Sugimura
Naoki Matsumura
Mitsutsugu Sugimura
Naoki Matsumura