Title:
金属皮膜の成膜方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024040555
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】所定のパターンに安定して成膜することができる金属皮膜の成膜方法を提供する。【解決手段】金属皮膜の成膜方法は、所定のパターンの貫通孔３５が形成されたマスク３０を、基材Ｂに配置する配置工程において、マスク３０として、紫外線Ｓを透過する材料からなるマスクを用い、紫外線Ｓを照射することにより、硬化するとともに接着性が低下する紫外線硬化型接着剤Ｋを介して、マスク３０を基材Ｂに配置する。所定のパターンで基材Ｂに成膜した後、マスク３０に向かって紫外線Ｓを照射することにより、紫外線硬化型接着剤Ｋを硬化させ、紫外線硬化型接着剤Ｋとともにマスク３０を基材Ｂから剥離する。【選択図】図７
Inventors:
Haruki Kondo
Kazuaki Okamoto
Keiji Kuroda
Koji Inagaki
Kazuaki Okamoto
Keiji Kuroda
Koji Inagaki
Application Number:
JP2022144970A
Publication Date:
March 26, 2024
Filing Date:
September 13, 2022
Export Citation:
Assignee:
Toyota Motor Corporation
International Classes:
C25D17/10
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Hiraki International Patent Office
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