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Patent Searching and Data


Title:
METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE AND DEVICE FOR MANUFACTURING DEVICE
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017226036
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】用途に応じた所望の特性を有する微細構造体を作り分ける。【解決手段】CMUT10の上部電極14を、タングステン(W)からなる第1電極部14Aとアルミニウム(Al)からなる第2電極部14Bとから構成し、第1電極部14Aと第2電極部14Bとの構成比率を調整して、上部電極14の物性値を調整する。上部電極14の物性値を調整することにより、上部電極14の形状およびサイズを変えることなく、CMUT10の共振周波数を変える。【選択図】図1

Inventors:
TAKEI AKI
MIURA KATSUYA
KINOSHITA MASAHARU
WATANABE KEIJI
MACHIDA SHUNTARO
SEKIGUCHI TOMONORI
Application Number:
JP2016123395A
Publication Date:
December 28, 2017
Filing Date:
June 22, 2016
Export Citation:
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Assignee:
HITACHI LTD
International Classes:
B81C1/00; G03F7/20; H01J37/317; H04R19/00; H04R31/00
Attorney, Agent or Firm:
特許業務法人筒井国際特許事務所