Title:
エッチング液組成物の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024037705
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】一態様において、容器へ充填する際の液だれを抑制できるエッチング液組成物の製造方法を提供する。【解決手段】本開示は、一態様において、エッチング液組成物の製造方法であって、前記エッチング液組成物は、基板上に形成された金属膜をエッチングするためのエッチング液組成物であり、エッチング液組成物を吐出する充填口を有する充填ノズルを用いて、前記エッチング液組成物を容器に充填する工程を含み、前記充填ノズルの充填口の素材に対する前記エッチング液の後退接触角が６０°以上かつ前進接触角と後退接触角との比（前進接触角／後退接触角）が１．４以下である、エッチング液組成物の製造方法に関する。【選択図】図１
Inventors:
Yousuke Kimura
Kanji Satoh
Kanji Satoh
Application Number:
JP2023144276A
Publication Date:
March 19, 2024
Filing Date:
September 06, 2023
Export Citation:
Assignee:
Kao Corporation
International Classes:
H01L21/308; H01L21/306
Attorney, Agent or Firm:
Ikeuchi & Partners Patent Attorney Corporation