Login| Sign Up| Help| Contact|

Patent Searching and Data


Title:
METHOD OF MANUFACTURING PIEZOELECTRIC ELEMENT
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019046948
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】柱状の微細な立体構造を狭い間隔で容易に配列することができる圧電素子の製造方法を提供すること。【解決手段】複数の柱状の圧電材料の立体構造21が充填部31の間に配列される圧電素子102の製造方法であって、所望の間隔より広い所定の間隔で複数の立体構造21を形成する第1工程と、複数の立体構造21の間隔を所望の間隔に減少させる第2工程とを備える。【選択図】図1

Inventors:
SHIMIZU NAOKI
TADA KAZUNARI
Application Number:
JP2017168069A
Publication Date:
March 22, 2019
Filing Date:
August 31, 2017
Export Citation:
Click for automatic bibliography generation   Help
Assignee:
KONICA MINOLTA INC
International Classes:
H01L41/37; H01L41/09; H01L41/113; H01L41/18; H01L41/332; H01L41/338; H04R31/00
Attorney, Agent or Firm:
福田 充広