Title:
供試標本の電気特性を計測する方法及び多層供試標本
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024028323
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】埋込ＭＲＡＭメモリ等にて用いられる磁気トンネル接合の電気特性を計測する。【解決手段】本方法で用いるのは複数個のプローブチップを有する多点プローブであり、それを供試標本の指定エリア、特に供試標本の試験対象部分から電気的に絶縁されているエリアに接触させる。電気的接続手段は、その磁気トンネル接合の下方に配置しその指定エリアに通じさせる。【選択図】図１
Inventors:
Kagliani Alberto
Osterberg Frederick Westerguard
Way Cheerleader-Hang
Osterberg Frederick Westerguard
Way Cheerleader-Hang
Application Number:
JP2023219157A
Publication Date:
March 04, 2024
Filing Date:
December 26, 2023
Export Citation:
Assignee:
KLA Corporation
International Classes:
G01R31/26; H01L21/66; H10N50/01
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation YKI International Patent Office