Title:
マークの相対位置の計測方法、計測装置及び物品の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024037437
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】 アライメントマークの占有面積をより小さくしても相対位置を計測可能な計測方法及び計測装置を提供する。【解決手段】 ２つの物体の各々にアライメントマークとの相対位置を計測する計測方法において、マークの外周部に相当する光強度分布の信号を検出してマークとの第１相対位置を求める工程と、マークからの回折光により形成されるモアレ縞を撮像し、モアレ縞に基づいてマークとの第２相対位置を求める工程と、第１相対位置と第２相対位置に基づいてマークの相対位置を求める工程と、を有する。【選択図】 図８
Inventors:
Toshiki Iwai
Yuichi Fujita
Yuichi Fujita
Application Number:
JP2022142309A
Publication Date:
March 19, 2024
Filing Date:
September 07, 2022
Export Citation:
Assignee:
Canon Inc
International Classes:
G01B11/00; G03F9/00; H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
Takuma Abe
Yoshiko Takahashi
Shichiro Nakatsuji
Kazushi Tomita
Yasunao Daitomo
Yoshiko Takahashi
Shichiro Nakatsuji
Kazushi Tomita
Yasunao Daitomo
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