Title:
方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023504363
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、アモルファスホウケイ酸リチウムまたはドープホウケイ酸リチウム化合物を作成するための蒸着方法であって、化合物の各成分元素の蒸気源を提供する工程であって、蒸気源は、少なくともリチウム源、酸素源、ホウ素源、およびケイ素源、および、任意に、少なくとも１つのドーパント元素源を含む、工程と、リチウム、酸素、ホウ素およびケイ素、および、任意に、ドーパント元素の流れを送出する工程と、蒸気源からの成分元素を基板上に共堆積させる工程であって、成分元素は、基板と反応し、アモルファス化合物を形成する、工程とを含み、アモルファスホウケイ酸リチウムまたはドープホウケイ酸リチウム化合物は、リチウム、ホウ素およびケイ素の合計原子百分率を基準にして、４０～６５原子％の範囲のリチウム含有量を有する、方法を提供する。
Inventors:
Alexandros Anastas Opulos
Brian Elliott Hayden
Christopher Lee
David Roman
Duncan Smith
Gianfranco Arresta
Lewis Turner
Samuel Guerlain
Brian Elliott Hayden
Christopher Lee
David Roman
Duncan Smith
Gianfranco Arresta
Lewis Turner
Samuel Guerlain
Application Number:
JP2022529119A
Publication Date:
February 03, 2023
Filing Date:
December 01, 2020
Export Citation:
Assignee:
Irica Technologies Limited
International Classes:
C23C14/08; C01B35/12; H01M4/139; H01M10/052; H01M10/0562; H01M10/0585
Attorney, Agent or Firm:
Haruo Awano