Title:
チョーク流れに基づく質量流量検証のための方法、システム、および装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019520576
Kind Code:
A
Abstract:
質量流量検証システムおよび装置は、チョーク流れ原理に基づいてマスフローコントローラ（ＭＦＣ）の質量流量を検証することができる。これらのシステムおよび装置は、並列に結合された複数の異なるサイズの流量制限器を含むことができる。ＭＦＣの目標値に基づいて、流量制限器の１つを通る流路を選択することで、広範囲の流量を検証することができる。質量流量は、チョーク流れ状態の下で流量制限器の上流の圧力および温度測定を介して決定することができる。他の態様と同様に、チョーク流れ原理に基づいて質量流量を検証する方法もまた提供される。【選択図】図１
Inventors:
Brassier, Kevin M.
Yeah, Ziyuan
Howe, justin
Rajaram, Jaidev
Josephson, Marcel Lee.
Okada, Ashley M.
Yeah, Ziyuan
Howe, justin
Rajaram, Jaidev
Josephson, Marcel Lee.
Okada, Ashley M.
Application Number:
JP2018567715A
Publication Date:
July 18, 2019
Filing Date:
May 17, 2017
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
G01F25/00; G05D7/06
Domestic Patent References:
| JP2013037003A | 2013-02-21 | |||
| JP2008534925A | 2008-08-28 | |||
| JP2003056510A | 2003-02-26 | |||
| JP2009116904A | 2009-05-28 |
Foreign References:
| US20140033828A1 | 2014-02-06 |
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda/Kobayashi Patent Business Corporation