Title:
メトロロジ方法及び装置並びにコンピュータプログラム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023532455
Kind Code:
A
Abstract:
興味対象パラメータの測定を向上させる方法が開示される。本方法は、基板上の１つ以上のターゲットに関連する、興味対象パラメータの複数の測定値を含むメトロロジデータであって、各測定値が、上記１つ以上のターゲットのうちのターゲット、及びそのターゲットを測定するために使用される測定条件の異なる測定組み合わせに関連する、メトロロジデータ、並びに上記１つ以上のターゲットのための非対称性に関連する非対称性メトリックデータを取得することを含む。上記測定組み合わせにわたる興味対象パラメータのための共通の真の値が存在するとの仮定に基づいて、興味対象パラメータのための真の値を非対称性メトリックデータに関連付ける上記測定組み合わせの各々のためのそれぞれの関係を決定する。これらの関係を使用して興味対象パラメータの測定を向上させる。【選択図】図９
Inventors:
Matthewsen, Simon, Geisbert, Josephus
Tinemans, Patriceus, Aloysius, Jacobs
Den Beauf, Ally, Jeffrey
Battacharyah, cous tube
Lehman, Sammy, Ah
Tinemans, Patriceus, Aloysius, Jacobs
Den Beauf, Ally, Jeffrey
Battacharyah, cous tube
Lehman, Sammy, Ah
Application Number:
JP2022579939A
Publication Date:
July 28, 2023
Filing Date:
May 27, 2021
Export Citation:
Assignee:
ASM L Netherlands B.V.
International Classes:
G03F7/20
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito