Title:
微小電気機械共振器
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022529131
Kind Code:
A
Abstract:
第１のおもり部分(M1)と、第２のおもり部分(M2)と、これらのおもり部分の間にある中央ばね部分(SP)とを有するばね-質量系とを備える、MEMS共振器。【選択図】図１Ａ
Inventors:
Sarella Ville
Yaccola Antti
Oya Arne
Yaccola Antti
Oya Arne
Application Number:
JP2021559712A
Publication Date:
June 17, 2022
Filing Date:
April 15, 2020
Export Citation:
Assignee:
KYOCERA TIKITIN OY
International Classes:
H03H9/24; B81B3/00
Attorney, Agent or Firm:
Mitsunori Kawamorida