Title:
顕微鏡システム及びこの顕微鏡システムを用いた試料の観察方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024053081
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】カンチレバーが試料に衝突するようなトラブルを抑制する。【解決手段】顕微鏡システム１００は、カンチレバー４３を有するプローブユニット４０と、カメラ１５と、試料Ｓに対するカメラの位置を調整するため、当該カメラを駆動するカメラ位置微調整機構１７と、カメラ１５の焦点が、カンチレバー４３の背面または試料Ｓの表面に合うように、カメラ位置微調整機構１７を制御してカメラ１５を動かすコンピュータ３０と、を備える。コンピュータ３０は、カメラ１５の位置をカメラ１５の焦点がカンチレバー４３の背面に合致している位置から、試料Ｓの表面に合致する位置まで動かしたカメラ１５の移動距離Δｚ’に基づき、カンチレバー４３から試料Ｓの表面までの距離Δｚを算出する。【選択図】図６
Inventors:
Yugo Onoda
Hironori Yamamoto
Toru Soso
Wang Zihan
Eihiro Sato
Hironori Yamamoto
Toru Soso
Wang Zihan
Eihiro Sato
Application Number:
JP2024035805A
Publication Date:
April 12, 2024
Filing Date:
March 08, 2024
Export Citation:
Assignee:
Hitachi High-Tech Science Co., Ltd.
International Classes:
G01Q30/02; G01Q20/02; G01Q20/04; G01Q60/24
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Eiko Office