Title:
一置換シクロペンタジエン及び金属シクロペンタジエニル錯体、並びにその合成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023537859
Kind Code:
A
Abstract:
一置換シクロペンタジエン、金属シクロペンタジエニル錯体及びそれらの合成方法が開示されている。開示された一置換シクロペンタジエンは、選択触媒炭素－炭素カップリング反応によって合成される。開示された金属シクロペンタジエニル錯体は、開示された一置換シクロペンタジエンから合成される。開示された金属シクロペンタジエニル錯体は、典型金属及び遷移金属シクロペンタジエニル錯体を含み、ＡＬＤ、ＣＶＤ、ＳＯＤなどの半導体産業における膜堆積用膜形成組成物に含有される堆積前駆体として使用され得る。【選択図】図１
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Inventors:
Nikiforov, Grigory
Application Number:
JP2023504815A
Publication Date:
September 06, 2023
Filing Date:
August 10, 2021
Export Citation:
Assignee:
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International Classes:
C07C2/86; C07C13/15; C07C17/32; C07C22/02; C07F1/02; C07F1/04; C07F1/06
Attorney, Agent or Firm:
Michie Obuchi
Yukio Fuse
Yukio Fuse
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