Title:
マルチビーム画像取得装置及びマルチビーム画像取得方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024017671
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】使用するビームアレイの配列サイズに関わらずマルチ２次電子ビームのうちコーナービームを特定可能な装置を提供する。【解決手段】マルチビーム画像取得装置は、ステージ１０５と、ステージ上に配置された基材と、基材上であってマルチ１次電子ビーム２０のうち予め設定された十字状に配列される複数のビームの試料面上の高さ位置における設計上の複数の照射位置と重なる位置に形成される十字パターンを構成する複数のラインパターンと、アライメントマークを有するマーク部材１１１と、アライメントマークを用いてマルチ１次電子ビームの位置合わせを行った状態でマーク部材１１１をマルチ１次電子ビーム２０で照射する電子光学系１５１と、マーク部材１１１から放出されたマルチ２次電子ビームを検出するマルチ検出器２２２と、を備える。【選択図】図１
Inventors:
Yosuke Ito
Koichi Ishii
Munehiro Ogasawara
Atsushi Ando
Koichi Ishii
Munehiro Ogasawara
Atsushi Ando
Application Number:
JP2022120477A
Publication Date:
February 08, 2024
Filing Date:
July 28, 2022
Export Citation:
Assignee:
New Flare Technology Co., Ltd.
International Classes:
H01J37/22; H01J37/244; H01J37/28
Attorney, Agent or Firm:
Tetsuma Ikegami
Akira Sudo
Masahiro Koshita
Akira Sudo
Masahiro Koshita
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