Title:
マルチチャネル光電子増倍管アセンブリ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019510357
Kind Code:
A
Abstract:
マルチチャネル光電子増倍管（ＰＭＴ）型検出器アセンブリでありフォトカソードを有する。その検出器アセンブリが、第１組のダイノード経路を有する第１ダイノードチャネルを有する。当該第１組のダイノード経路が、第１群の光電子を受け取り第１増幅光電子流を第１アノード上に差し向けるよう構成された複数個のダイノード段を有する。同検出器アセンブリが、別組のダイノード経路を有する別のダイノードチャネルを有する。当該別組のダイノード経路が、別群の光電子を受け取り別の増幅光電子流を別のアノード上に差し向けるよう構成された複数個のダイノード段を有する。同検出器アセンブリが、第１群の光電子を第１組の経路のうち１個又は複数個へと差し向け且つ上記別群の光電子を上記別組の経路のうち１個又は複数個へと差し向けるよう構成された、グリッドを有する。
Inventors:
McKay Derek
Application Number:
JP2018551430A
Publication Date:
April 11, 2019
Filing Date:
March 28, 2017
Export Citation:
Assignee:
KLA-Tenker Corporation
International Classes:
H01J43/20; H01J40/04
Domestic Patent References:
| JPH06150876A | 1994-05-31 | |||
| JP2015511061A | 2015-04-13 | |||
| JPH03102226A | 1991-04-26 | |||
| JP4008353B2 | 2007-11-14 | |||
| JP2003263952A | 2003-09-19 | |||
| JP2009501902A | 2009-01-22 | |||
| JP2006185598A | 2006-07-13 |
Foreign References:
| US5481158A | 1996-01-02 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Corporation yki International Patent Office