Title:
多区画電気化学補給セル
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023540837
Kind Code:
A
Abstract:
電気メッキシステムは電気メッキチャンバを含むことができる。このシステムはさらに、電気メッキチャンバに流体結合された補給アセンブリを含むことができる。補給アセンブリは、アノード材料を収容した第１の区画を含むことができる。第１の区画は、アノード材料が収容された第１の区画セクション、および仕切りによって第１の区画セクションから分離された第２の区画セクションを含むことができる。補給アセンブリは、電気メッキチャンバに流体結合され、第１の区画に電気的に結合された第２の区画を含むことができる。補給アセンブリはさらに、第２の区画に電気的に結合された第３の区画であり、不活性カソードを含む、第３の区画を含むことができる。【選択図】図４
Inventors:
zimmerman nolan ell
Charbonneau Charles
Wilson Gregory Jay
McHugh Paul Earl
van valkenburg paul
Karaikadal Deepak Sagar
Hanson Kyle M
Charbonneau Charles
Wilson Gregory Jay
McHugh Paul Earl
van valkenburg paul
Karaikadal Deepak Sagar
Hanson Kyle M
Application Number:
JP2023503430A
Publication Date:
September 27, 2023
Filing Date:
October 18, 2021
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
C25D21/14
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Fumiaki Otsuka
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Takeo Nasu
Nobuhiko Suzuki
Yoshiaki Kudo
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Fumiaki Otsuka
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Takeo Nasu
Nobuhiko Suzuki
Yoshiaki Kudo
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