マルチ電子ビームの調整方法及びマルチ電子ビーム検査装置

Japanese Patent JP2024044936

A

【目的】マルチ１次電子ビームの軌道から分離されたマルチ２次電子ビームの軌道上の偏向器の中心位置付近にマルチ２次電子ビームの中間像面を形成するように偏向器よりも上流側のレンズを調整可能な方法を提供する。【構成】本発明の一態様のマルチ電子ビームの調整方法は、設定された第１のレンズの第１の入力値と調整された第２のレンズの第２の入力値の組み合わせ毎に、取得されたマルチ２次電子ビームの代表ビームの複数の形状に基づいて、マルチ２次電子ビームの代表ビームに関する特徴量を抽出する工程と、設定された第１のレンズの第１の入力値と調整された第２のレンズの第２の入力値の組み合わせ毎に抽出されたマルチ２次電子ビームに関する複数の特徴量を用いて所定の条件に合う特徴量が得られる第１のレンズの第１の入力値と第２のレンズの第２の入力値の組み合わせを決定する工程と、決定された組み合わせの第１の入力値を第１のレンズに設定し、決定された組み合わせの第２の入力値を第２のレンズに設定する工程と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図１

Shohei Mikami
Atsushi Ando
Kazuhiko Inoue

JP2022150770A

April 02, 2024

September 21, 2022

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New Flare Technology Co., Ltd.

H01J37/04; H01J37/141; H01J37/147; H01J37/22

Tetsuma Ikegami
Akira Sudo
Masahiro Koshita

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