Title:
ナノ粉末、ナノセラミック材料並びにこれらの製造方法及び使用方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2021501106
Kind Code:
A
Abstract:
薄膜コーティングを備えるコア粒子を有するナノ粒子を含むナノ粉末が開示される。コア粒子及び薄膜コーティングは、独立して、希土類金属含有酸化物、希土類金属含有フッ化物、希土類金属含有酸フッ化物又はこれらの組み合わせの少なくとも１つから形成される。薄膜コーティングは、原子層堆積（ＡＬＤ）等の非見通し技術を用いて形成することができる。また本明細書では、ナノ粉末から形成されたナノセラミック材料、並びにナノ粉末を製造及び使用する方法が開示される。
Inventors:
Jang Guo Dong
Wuxiaoway
He Xiao Min
San Jennifer Wye
Wuxiaoway
He Xiao Min
San Jennifer Wye
Application Number:
JP2020522918A
Publication Date:
January 14, 2021
Filing Date:
October 26, 2018
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
C04B35/628; C01F17/218; C01G25/02; C04B35/44; C23C16/40; C23C16/50
Foreign References:
| WO2003008186A1 | 2003-01-30 | |||
| US20080264564A1 | 2008-10-30 | |||
| WO2015073458A1 | 2015-05-21 | |||
| US20170018408A1 | 2017-01-19 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiaki Anzai