Title:
端材回収装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024039285
Kind Code:
A
Abstract:
【目的】Ｓｉ端材が混入した処理水を処理装置から排水させ、処理装置を停止させることなく、処理装置からの排水内のＳｉ端材を回収可能な装置を提供する。【構成】実施形態の端材回収装置１００は、メッシュコンベア１０と、引き剥がし機構３０と、複数の回収容器５０，５２と、を備える。メッシュコンベアは、端材１１が液体に混入した混入液を上方から受け、前記端材の少なくとも一部を捕集すると共に前記液体を通すメッシュベルト１２を有し、前記メッシュベルトを移動させる。引き剥がし機構は、前記メッシュベルトの前記端材を載せた面が下向きになった状態で、前記メッシュベルトから前記端材を引き剥がす。複数の回収容器は、引き剥がされた前記端材を回収する。【選択図】図１
Inventors:
Shinji Ooka
Application Number:
JP2022143726A
Publication Date:
March 22, 2024
Filing Date:
September 09, 2022
Export Citation:
Assignee:
Kioxia Corporation
International Classes:
B23Q11/00; B01D24/46; B01D33/04; B24B55/12
Attorney, Agent or Firm:
Tetsuma Ikegami
Akira Sudo
Masahiro Koshita
Akira Sudo
Masahiro Koshita