Title:
端材回収装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024043122
Kind Code:
A
Abstract:
【目的】Ｓｉ端材が混入した処理水を処理装置から排水させ、処理装置を停止させることなく、処理装置からの排水内のＳｉ端材を回収可能な装置を提供する。【構成】 実施形態の端材回収装置１００は、複数のかご１０，１２と、回転駆動機構１２２，１２４と、複数の回収容器４０，４２と、を備える。複数のかごは、上部が開口され、メッシュ状面と多孔面との少なくとも一方で形成された少なくとも１つの面を有し、端材が液体に混入した混入液を前記上部から受け、前記混入液のうち前記端材の少なくとも一部を捕集すると共に前記液体を前記少なくとも１つの面から排出する。回転駆動機構は、前記上部が下を向く方向に前記複数のかごを個別に回転させる。複数の回収容器は、前記複数のかごが個別に前記上部が下を向く方向に回転することによって落下する前記端材を回収する。【選択図】図１
Inventors:
Takafumi Yonezawa
Application Number:
JP2022148127A
Publication Date:
March 29, 2024
Filing Date:
September 16, 2022
Export Citation:
Assignee:
Kioxia Corporation
International Classes:
B23Q11/00; B01D24/38; B01D29/00; B01D29/96; B24B55/06
Attorney, Agent or Firm:
Tetsuma Ikegami
Akira Sudo
Masahiro Koshita
Akira Sudo
Masahiro Koshita
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