Title:
深紫外線光源のための光学コンポーネント
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023550682
Kind Code:
A
Abstract:
光学コンポーネントは、光学的相互作用表面の少なくとも一部を形成する原子的平滑基板表面を含む、フッ化カルシウム基板と、原子的平滑基板表面をカバーし、それによってフッ化カルシウム基板とシーラント層との間に平滑インターフェースを形成する、シーラント層と、を含む。原子的平滑基板表面のプロファイルの平均偏差として定義される原子的平滑基板表面のプロファイルラフネスパラメータＲａは、０．０１ナノメートル（ｎｍ）から０．１７ｎｍまでの（０．１７ｎｍを含む）範囲内である。【選択図】 図６Ａ
Inventors:
Melchior, John, Theodore
Application Number:
JP2023518347A
Publication Date:
December 05, 2023
Filing Date:
October 12, 2021
Export Citation:
Assignee:
Cymer Limited Liability Company
International Classes:
H01S3/034; G02B5/08; G03F7/20; H01J61/30; H01J61/35; H01S3/23
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito
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