Title:
光ファイバー式ウェハー温度センサー、ウェハー温度計測センサーシステム及びウェハー温度計測センサーの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024019821
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】ＦＢＧ式光ファイバーをウェハーの渦巻形状の溝に埋め込むことにより、少ない本数の光ファイバーで多数の測定点で温度を測定できる光ファイバー式ウェハー温度センサー、ウェハー温度計測センサーシステム及びウェハー温度計測センサーの製造方法を提供すること。【解決手段】ウェハー温度計測センサー１００は、第１のウェハー１０１と、第２のウェハー１０２と、ＦＢＧ（Fiber Bragg Gratings）式光ファイバー１０３とを備え、第１のウェハー１０１及び第２のウェハー１０２は接合しており、第１のウェハー１０１及び第２のウェハー１０２の少なくとも１つに、ウェハー同士が接合する面で渦巻形状の溝１１１が形成されており、ＦＢＧ式光ファイバー１０３は、溝１１１に埋め込まれており、ＦＢＧ式光ファイバー１０３は、溝１１１内で２点以上の温度計測点を有する。【選択図】図１
Inventors:
Yoshiaki Moriya
Noriaki Imai
Noriaki Imai
Application Number:
JP2022122530A
Publication Date:
February 14, 2024
Filing Date:
August 01, 2022
Export Citation:
Assignee:
Samsung Electronics Co.,Ltd.
International Classes:
G01K11/3206; G01K1/14
Attorney, Agent or Firm:
Ken Ieiri