Title:
光測定装置及び光測定装置の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024032657
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】装置の簡素化及び小型化を図ることができる光測定装置及び当該光測定装置の製造方法を提供する。【解決手段】分光測定装置１Ａは、レーザ光Ｌ１を出射する光源部２と、レーザ光Ｌ１が入射するミラー面４１ａを有する平面ミラー４１と、ミラー面４１ａと対向するミラー面４２ａを有する平面ミラー４２と、を有し、ミラー面４１ａとミラー面４２ａとの間に測定対象物が導入されるミラー部４と、ミラー面４１ａとミラー面４２ａとの間で多重反射して折り返されたレーザ光Ｌ１を検出する光検出部３と、を備える。ミラー面４１ａとミラー面４２ａとは、ミラー面４１ａとミラー面４２ａとの間で多重反射しながらＹ軸方向に往復するレーザ光Ｌ１の光路ＯＰが形成されるように、Ｚ軸方向から見た場合に、互いに非平行に配置されている。ミラー面４１ａとミラー面４２ａとの間におけるレーザ光Ｌ１の光路ＯＰは、Ｚ軸方向に対して傾斜している。【選択図】図１
Inventors:
Tatsuo Dogakiuchi
Application Number:
JP2023118229A
Publication Date:
March 12, 2024
Filing Date:
July 20, 2023
Export Citation:
Assignee:
Hamamatsu Photonics K.K.
International Classes:
G01N21/3504; H01L31/0232; H01L31/08; H01S5/02253; H01S5/02257; H01S5/34
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiki Hasegawa
Yoshiki Kuroki
Kenichi Shibayama
Yoshiki Kuroki
Kenichi Shibayama