Title:
光スペクトラムアナライザ及び波長校正制御方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7128316
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】比較的大きい波長ずれが生じる可能性がある場合でも、波長が既知の基準光源を必要とすることなく、且つ波長を高い精度で校正すること。【解決手段】光路長ｄ１、ｄ２が互いに異なる複数のエタロン３８、３９を貼り合わせた複数エタロン構造部３２を利用し、広帯域光のエタロン透過光スペクトルを分光部及び受光部を利用して検出する。このエタロン透過光スペクトルに含まれる複数周期のリップル波形をそれぞれ抽出し、波長校正の粗調整用の目盛り、及び微調整用の目盛りとして使用する。斜め方向から複数エタロン構造部３２に入射光３２ｂを入力し、リップルの大きさの調整を容易にする。複数のエタロン３８、３９の少なくとも一方の形状を工夫することで、複数のリップル波形の振幅に差を持たせ、これらの分離を容易にする。【選択図】図２
Inventors:
Motohiro Banno
Taichi Murakami
Taichi Murakami
Application Number:
JP2021053247A
Publication Date:
August 30, 2022
Filing Date:
March 26, 2021
Export Citation:
Assignee:
Anritsu Co., Ltd.
International Classes:
G01J3/26; G01J3/02
Domestic Patent References:
| JPH02262023A | 1990-10-24 | |||
| JP2000069360A | 2000-03-03 | |||
| JP2002299733A | 2002-10-11 | |||
| JP2005010734A | 2005-01-13 | |||
| JP2018017799A | 2018-02-01 | |||
| JP2010231126A | 2010-10-14 | |||
| JPH10221672A | 1998-08-21 | |||
| JP2000039360A | 2000-02-08 | |||
| JP2002314179A | 2002-10-25 | |||
| JP2013238743A | 2013-11-28 | |||
| JP2001349781A | 2001-12-21 | |||
| JP2011221345A | 2011-11-04 |
Foreign References:
| US20170138790A1 | 2017-05-18 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent business corporation glory patent office