Title:
有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2013111600
Kind Code:
A
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Inventors:
Kazuki Kitamura
Application Number:
JP2013000375W
Publication Date:
May 11, 2015
Filing Date:
January 25, 2013
Export Citation:
Assignee:
Panasonic incorporated company
International Classes:
H01L51/50; C23C14/24; H05B33/10
Attorney, Agent or Firm:
西川 惠清
水尻 勝久
竹尾 由重
時岡 恭平
水尻 勝久
竹尾 由重
時岡 恭平