Title:
【発明の名称】外観検査用基準パターンの作成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3274132
Kind Code:
B2
Inventors:
Yuzo Taniguchi
Akihiko Yoshizawa
Akihiko Yoshizawa
Application Number:
JP7126890A
Publication Date:
April 15, 2002
Filing Date:
March 20, 1990
Export Citation:
Assignee:
株式会社日立製作所
日立東京エレクトロニクス株式会社
日立東京エレクトロニクス株式会社
International Classes:
G01N21/88; G01N21/956; H01L21/66; (IPC1-7): H01L21/66; G01N21/88
Domestic Patent References:
| JP1140271A |
Attorney, Agent or Firm:
Yamato Tsutsui