Title:
ペリクル枠及びペリクル
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6288402
Kind Code:
B1
Abstract:
ペリクル（１）の貼り付けによる露光原版（８）の変形を効果的に抑制可能なペリクル枠（２）であって、複雑形状を有さないペリクル枠及び当該ペリクル枠を用いたペリクルを提供する。アルミニウム合金製フレーム枠の表面に陽極酸化皮膜を備えたペリクル枠であって、当該アルミニウム合金製フレーム枠は、Ｃａ：５．０〜１０．０ｗｔ％、残部がアルミニウムと不可避的不純物を有し、分散相であるＡｌ４Ｃａ相の面積（体積）率が２５％以上であり、Ａｌ４Ｃａ相の一部の結晶構造が単斜晶であるアルミニウム合金からなり、陽極酸化皮膜がＡｌ４Ｃａ粒子を有すること、を特徴とするペリクル枠。
Inventors:
Yoshihiro Taguchi
Takayuki Yamaguchi
Yu Shun
Ishiwatari Hosei
Takayuki Yamaguchi
Yu Shun
Ishiwatari Hosei
Application Number:
JP2017562368A
Publication Date:
March 07, 2018
Filing Date:
June 30, 2017
Export Citation:
Assignee:
NIPPON LIGHT METAL COMPANY,LTD.
International Classes:
G03F1/64; G03F1/62
Domestic Patent References:
| JP2011007934A | 2011-01-13 |
Foreign References:
| WO2015059783A1 | 2015-04-30 |
Attorney, Agent or Firm:
Koichi Naka
Yoshiaki Morisada
Isao Tanaka
Yoshiaki Morisada
Isao Tanaka