Title:
光電陰極、電子管、及び、光電陰極の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6720427
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】生産性を向上可能な光電陰極、電子管、及び、光電陰極の製造方法を提供する。【解決手段】 光電陰極１は、基板１００と、下地層２００と、光電変換層３００と、を備えている。光電変換層３００は、基板１００上に設けられ、入射光ｈνの入射に応じて光電子ｅ−を発生させる。下地層は、基板１００と光電変換層３００との間に設けられている。下地層２００は、ベリリウムを含む。下地層２００は、ベリリウムの窒化物を含む第１下地層２１０を有する。【選択図】図２
Inventors:
Kawai Terunori
Torii Yoshitaka
Shibayama Masami
Hiroyuki Watanabe
Shinichi Yamashita
Torii Yoshitaka
Shibayama Masami
Hiroyuki Watanabe
Shinichi Yamashita
Application Number:
JP2020083927A
Publication Date:
July 08, 2020
Filing Date:
May 12, 2020
Export Citation:
Assignee:
Hamamatsu Photonics Co., Ltd.
International Classes:
H01J1/34; H01J9/12
Domestic Patent References:
| JP2010257962A | ||||
| JP2008166262A |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiki Hasegawa
Yoshiki Kuroki
Kenichi Shibayama
Yoshiki Kuroki
Kenichi Shibayama