Title:
感光性樹脂組成物及び硬化レリーフパターンの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024032725
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】高温保存（ｈｉｇｈ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｓｔｏｒａｇｅ）試験後、Ｃｕ層の、硬化後の感光性樹脂層に接する界面でボイドが発生せず、密着性が高い樹脂層が得られる、感光性樹脂組成物及び該感光性樹脂組成物を用いた硬化レリーフパターンの形成方法の提供。【解決手段】感光性樹脂と特定の可塑剤とを組み合わせることにより、高温保存（ｈｉｇｈ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｓｔｏｒａｇｅ）試験後に、Ｃｕ層と樹脂層との界面でボイドが発生せず、密着性が高い感光性樹脂が得られる感光性樹脂組成物及び該感光性樹脂組成物を用いた硬化レリーフパターン。【選択図】なし
Inventors:
Tomohiro Yorisue
Mitsutaka Nakamura
Taihei Inoue
Takahiro Sasaki
Mitsutaka Nakamura
Taihei Inoue
Takahiro Sasaki
Application Number:
JP2023221584A
Publication Date:
March 12, 2024
Filing Date:
December 27, 2023
Export Citation:
Assignee:
ASAHI KASEI KABUSHIKI KAISHA
International Classes:
G03F7/027; C08F299/02; C08G73/00; C08G73/12; G03F7/004; G03F7/023; G03F7/20
Attorney, Agent or Firm:
Atsushi Aoki
Shinji Mihashi
Kazuhiro Nakamura
Miyako Saito
Shunsuke Sanma
Shinji Mihashi
Kazuhiro Nakamura
Miyako Saito
Shunsuke Sanma