Title:
感光性樹脂組成物及びその用途
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5672827
Kind Code:
B2
Inventors:
田口 寛之
二戸 吉徳
加藤 行浩
高橋 修一
二戸 吉徳
加藤 行浩
高橋 修一
Application Number:
JP2010174199A
Publication Date:
February 18, 2015
Filing Date:
August 03, 2010
Export Citation:
Assignee:
日油株式会社
International Classes:
G03F7/023; G03F7/004; H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
Hironori Onda
Makoto Onda
Makoto Onda