めっき装置およびめっき液排出方法

Title:

めっき装置およびめっき液排出方法

Document Type and Number:

Japanese Patent JP7467782

Kind Code:

B1

Abstract:

アノードから発生する気泡に起因するめっき不良の発生を抑制し、かつ、めっき液の供給に関する構造を簡素化する。めっきモジュール４００は、めっき液を収容するためのめっき槽４１０と、めっき槽４１０内に配置されたアノード４３０と、被めっき面Ｗｆ－ａを下方に向けた状態で基板Ｗｆを保持するように構成された基板ホルダ４４０と、アノード４３０が配置されたアノード領域４２４とめっき処理時に基板Ｗｆが配置されるカソード領域４２２とを仕切るメンブレン４２０であって、アノード４３０と対向する傾斜面４２３ａを有する、メンブレン４２０と、アノード領域４２４にめっき液を供給するための供給口４１２と、メンブレン４２０の傾斜面４２３ａの上端近傍に開口する第１の端部４７２、および、めっき処理時の基板の被めっき面より上に開口する第２の端部４７４、を有する気液配管４７０であって、供給口４１２からアノード領域４２４に供給されためっき液を第２の端部４７４を介してカソード領域４２２に供給するように構成された、気液配管４７０と、を含む。

Inventors:

Masateru Tomita

Application Number:

JP2023576384A

Publication Date:

April 15, 2024

Filing Date:

September 25, 2023

Export Citation:

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