Title:
ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜、ＴＦＴ基板、層間絶縁膜、表示装置、およびその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2016148176
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、現像加工時の残渣が顕著に少なく、高透明、高耐薬品性、高誘電率および低リーク電流に優れた性質を有する硬化膜を得ることが可能な、ポジ型感光性樹脂組成物を提供する。本発明は、（Ａ）金属酸化物粒子、（Ｂ）ポリイミド前駆体、ポリベンゾオキサゾール前駆体、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾールより選ばれる１種以上のポリマー、（Ｃ）水酸基および／またはチオール基を有する芳香族化合物を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物である。
Inventors:
Koujima Yohei
Hibino Riho
Mitsufumi Suwa
Hibino Riho
Mitsufumi Suwa
Application Number:
JP2016515557A
Publication Date:
December 28, 2017
Filing Date:
March 16, 2016
Export Citation:
Assignee:
TORAY INDUSTRIES,INC.
International Classes:
G03F7/004; C08G73/10; G03F7/023