Title:
圧力制御バルブ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6711942
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】構造が簡単かつ圧力制御が正確で、しかもパーティクルのクリーニングが容易な圧力制御バルブを提供する。【解決手段】本発明の圧力制御バルブは、炉内を所定圧力に保持可能な反応炉と反応炉内のガスを排気する排気部との間に介挿され、反応炉内の圧力を所定圧力に制御する圧力制御バルブであって、ａ：上面板、下面板及び円筒状側面板を有し、側面板を貫通し反応炉側に接続されるガス流入口と排気部側に接続されるガス排出口とを備え、側面板の内壁がフッ素樹脂で被覆された弁本体と；ｂ：弁本体のガス流入口側の側面板の内壁に摺動可能に圧接され、ガス流入口に対面する位置にはサイズの異なる複数の開口が所定の配列で設けられているオリフィス板と；ｃ：下面板の内側に設置され、オリフィス板を保持して摺動させる摺動機構と；を具備してなる。【選択図】 図１
Inventors:
Terada Tsunetoku
Application Number:
JP2019086369A
Publication Date:
June 17, 2020
Filing Date:
April 26, 2019
Export Citation:
Assignee:
E Network Systems Co., Ltd.
International Classes:
F16K3/22; F16K51/00
Domestic Patent References:
| JP55152966A | ||||
| JP6101770A | ||||
| JP6051646U | ||||
| JP57205026U | ||||
| JP49091835U | ||||
| JP7010649U | ||||
| JP2013036509A | ||||
| JP56174754U | ||||
| JP54094635U | ||||
| JP10268944A | ||||
| JP2005249151A | ||||
| JP2002130496A | ||||
| JP2000257748A | ||||
| JP55181069U | ||||
| JP53108638U |
Attorney, Agent or Firm:
Makoto Hagiwara