Title:
圧力センサ及び圧力センサの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024002882
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】製造時におけるメンブレンの破損を抑制しつつ、パッケージ等による保護を不要とする、圧力センサを提供する。【解決手段】圧力センサ１は、第１主面１０ａと第２主面１０ｂとを有しＺ方向に厚みを有する基板１０と、基板１０に対して第１主面１０ａから－Ｚ方向へ窪んだ第１室５と、基板１０に対して第１主面１０ａから－Ｚ方向へ窪んで第１室５に対してＸ方向に間隔を隔てて隣り合う第２室６と、基板１０に対して第１主面１０ａから－Ｚ方向へ窪んで第１室５を外部に連通させる流体通路７と、基板１０の第１主面１０ａ上に積層されて少なくとも第１室５及び第２室６の第１主面１０ａ上の開口を閉止する閉止層１５と、基板１０のうち第１室５及び第２室６によってこれらの間にＸ方向に区画されてＹ方向とＺ方向とに平行な面内に延びるメンブレン３１とを有している。【選択図】図２
Inventors:
Heller, Martin Wilfried
Yuma Fujita
Yuma Fujita
Application Number:
JP2022204814A
Publication Date:
January 11, 2024
Filing Date:
December 21, 2022
Export Citation:
Assignee:
ROHM Co., Ltd.
International Classes:
G01L9/00; B81B3/00; B81C1/00; H01L29/84
Attorney, Agent or Firm:
Norito Yamao
Shigeo Kawasaki
Shigeo Kawasaki
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