Title:
Prober system
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6315865
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】制御装置が測定プログラムの変更や種類の増加を認識する。【解決手段】半導体装置（ＩＣチップ）にプローブを接触させるステージ装置３００と、該プローブを介して半導体装置の電圧・電流を測定する測定器２００と、制御装置１００とを備え、測定器２００と制御装置１００とが通信可能に接続されているプローバシステム１０００であって、測定器２００は、電圧・電流を測定する複数種類の測定プログラム（計測ファイル）を備え、制御装置１００は、測定プログラムを特定する複数の特定情報（計測ファイル名）を測定器２００から受信する特定情報取得部（計測ファイル取得部１４）と、ステージ装置３００を位置制御すると共に、受信した特定情報を測定器２００に送信することにより、測定器２００に電圧・電流を測定させる第１測定器制御部１５と備える。【選択図】図１
Inventors:
Toshiharu Kaneko
Application Number:
JP2017169234A
Publication Date:
April 25, 2018
Filing Date:
September 04, 2017
Export Citation:
Assignee:
High Sol Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/66
Domestic Patent References:
| JP2006319125A | 2006-11-24 | |||
| JP2009543326A | 2009-12-03 | |||
| JP2006319125A | 2006-11-24 | |||
| JP2009543326A | 2009-12-03 |
Attorney, Agent or Firm:
Isono International Patent and Trademark Office