Title:
保護コーティングを有するプロセスチャンバプロセスキット
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024037895
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】腐食性プラズマ環境に耐性のあるプラズマ処理チャンバコンポーネント及び装置を提供する。【解決手段】プラズマ処理システムにおいて、プラズマ処理チャンバ内で使用されるチャンバコンポーネントが提供され、チャンバコンポーネントは、４マイクロインチから８０マイクロインチの間の表面粗さＲａを有する粗い非平面の第１の表面を含む金属ベース材料と、粗い非平面表面上に形成された平面シリカコーティングであって、粗い非平面表面のＲａ表面粗さよりも小さい表面粗さＲａを有する表面と、約０．２ミクロンから約１０ミクロンの間の厚さと、体積で１％未満の多孔度とを有し、２Ｅ１２ａｔｏｍｓ／ｃｍ２未満のアルミニウムを含有する平面シリカコーティングと、を含む。【選択図】図１Ｂ
Inventors:
Wu, Jian
Riu, Way
Warn, Lin Lin
Guarini, Teresa Kramer
Beevan, Malcolm
Howril Chuck, Lara
Riu, Way
Warn, Lin Lin
Guarini, Teresa Kramer
Beevan, Malcolm
Howril Chuck, Lara
Application Number:
JP2023210900A
Publication Date:
March 19, 2024
Filing Date:
December 14, 2023
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
H01L21/3065
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation
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