Title:
加工装置及び被加工物の加工方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024025383
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】搬出入領域への洗浄液の侵入や噴霧の飛散を防止できる加工装置及び被加工物の加工方法を提供する事。【解決手段】被加工物１００を保持する保持面１１を有する保持テーブル１０と、保持テーブル１０に保持された被加工物１００を加工する加工ユニット２０と、加工ユニット２０が設置された加工領域３と保持テーブル１０に対して被加工物１００を搬出入する搬出入領域４との間で、保持テーブル１０を加工ユニット２０に対して相対的に加工送り方向に移動させる移動ユニット３１と、割り出し送り方向に延在し、保持面１１に保持された被加工物１００に洗浄液を供給する洗浄液供給孔を有する洗浄液供給ユニット５０と、洗浄液供給ユニット５０より搬出入領域４側に隣接し、割り出し送り方向に延在し、飛散した洗浄液を吸引する吸引孔を有する吸引ユニット６０と、を備える。【選択図】図１
Inventors:
Hiromitsu Ueyama
Takatoshi Sakurai
Kohei Ueno
Takatoshi Sakurai
Kohei Ueno
Application Number:
JP2022128768A
Publication Date:
February 26, 2024
Filing Date:
August 12, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B23Q11/00; B24B27/06; B24B55/02; B24B55/06; H01L21/301; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Sakai International Patent Office